離子蝕刻技術開創精密晶振生產新紀元
來源：http://m.mlnic.org.cn 作者：dgkjly 2012年06月06
知識改變命運，科技振興中華。科技的不斷進步，對各種電子元器件的精密度要求就會越高，經過一代又一代人的不斷潛心實驗，我國電子研發專家發明了一項新的技術——離子蝕刻技術.我們知道離子束加工是在真空條件下,將惰性氣體通過離子源產生離子束,經過加速、集束、聚焦后,照射到被加工表面上實現各種加工的方法，因為其具有加工精度和表面質量高、加工材料廣泛、控制性能好等特點,被應用于各種工業加工中.頻率微調是石英晶振加工過程中涉及頻率調整的最后一道工序,其加工方法有手工打磨的方法、蒸發頻率調整法和離子蝕刻法。手工打磨的方法因其效率、合格率、精度低,目前很少使用.蒸發頻率調整法會使石英晶片的鍍膜產生偏移,鍍膜強度不均勻.離子蝕刻法雖然沒有鍍膜偏移、鍍膜強度不均勻的缺點,但是因為加工后數秒內會有一定的頻率偏差,導致其精度、生產效率低于蒸發頻率調整法,因此不能完全取代蒸發頻率調整法.本文對離子蝕刻后產生頻率偏差的現象進行分析,并提出可以降低此現象的加工工藝,使得離子蝕刻法的精度可以超過蒸發頻率調整法.1石英晶振的原理1.1石英晶振的形成及等效電路石英晶體是單晶體結構(SiO2),其形狀為六角形晶柱,兩端呈六棱錐形狀.石英晶振是按照特定的方位角從石英晶體上切下一片薄片,然后根據特定的尺寸(由目標頻率決定)研磨出的石英晶片,在晶片的兩面涂覆金屬層，這樣就達到了生產精密晶振的效果。
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